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芯片7nm技术有多难?一篇文章让你看懂!

2018-7-23 11:04| 发布者: 孑影吟风| 查看: 3105| 评论: 0

摘要: 半导体的14nm工艺目前已经有数家可以流片,10nm以下已经有多家厂商拥有流片技术或者正在研发。只是随着工艺难度的提升,开发难度不断增大,投入资金要求越来越高,剩下的玩家也越来越少。下图展示了目前仅剩的参与尖 ...

半导体的14nm工艺目前已经有数家可以流片,10nm以下已经有多家厂商拥有流片技术或者正在研发。只是随着工艺难度的提升,开发难度不断增大,投入资金要求越来越高,剩下的玩家也越来越少。下图展示了目前仅剩的参与尖端工艺研发的企业。

芯片7nm技术有多难?一篇文章让你看懂!

目前台积电(TSMC), 三星(SAMSUNG), GlobalFoundries应该是仅有的三家具有7nm流片能力的公司;英特尔(Intel)的10nm虽然基本等同于其他厂家的7nm,但是要跳票到2019年。值得一提的是,国内厂商中芯国际(SMIC)的14nm研发基本完成,预计2019年量产。

玩家这么少,连英特尔的工艺都难产,7nm究竟为什么这么难呢?芯观察认为主要是以下几个原因:

工艺的精度已经趋近于传统光刻机的极限,极紫外光刻机还无法用于大规模量产

传统光刻机的波长为193nm,通过浸液的方式可以使波长进一步缩短,再加上多次曝光的辅助,已经走到了14nm。可是到了7nm,这种方法光刻出来的线条误差越来越大,越来越难以控制。我们可以通过下图对比传统光刻机和极紫外光刻机的实际效果图,可以看出,传统光刻的方法误差确实很大。这种情况下,想要良率满足要求是极为困难的。

芯片7nm技术有多难?一篇文章让你看懂!

线宽逼近极限带来的电阻电容增大变得不可忽视

我们知道同样材质的前提下,越细的导线电阻越大。因此当工艺进入7nm,线上电阻已经变得非常大,Intel不得已采用贵技术钌来解决这个问题。除此之外,由于FinFET的Fin越来越小,控制其流过的电流也越来越困难。因此,不得已采用了增加Fin的高度来增强控制,可是这样又带来晶体管的电容更大从而速度变慢。下图展示了不同工艺的晶体管的各种参数,可以看出随这工艺升级,Fin的宽高比越来越大。

芯片7nm技术有多难?一篇文章让你看懂!

EDA工具支持的支持尚不完善

虽然每代工艺都会遇到此类问题,但是14nm/7nm工艺恰逢EDA工具尤其是后端设计工具更新换代,两个主流软件厂商均发布了所谓的次世代EDA工具。各种引擎的升级导致工具的bug数直线上升,而工艺带来的的挑战需要工具不断升级并增加性的功能,助长了工具开发和使用方面的挑战。

芯片7nm技术有多难?一篇文章让你看懂!

设计上的难度大幅增加

各个芯片设计公司希望通过工艺升级获得更高的性能,更低的功耗和更小的芯片面积。可是7nm在设计方面提出了更高的挑战。为了满足工艺厂商的生产规则,在设计阶段增加了大量的硬性规则,给芯片设计尤其是后端设计增加的很大难度。比如使用金属层上,对于底层金属,几乎是只能按照特定的pattern和方向使用,变通性大大降低。

以上就是芯观察总结的几点7nm的突出难点。好消息是,由于国际上工艺发展速度变慢,我国的工艺厂商正好借此机会奋起直追。目前中芯国际已经宣布14nm研发完成,同时行业大拿梁孟松加盟,如虎添翼。希望能够更快赶上国际尖端水平,早日实现芯片国产化,解决我国确芯困境!


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